1. 본 발명에서는, 내열성 및 치수 안정성이 우수하며, 응력 완화성이 뛰어나 잔류 응력 또는 불균일한 압력의 인가에 의한 웨이퍼의 손상 또는 비산 등을 억제할 수 있고, 탁월한 절단성을 보이는 웨이퍼 가공용 시트를 제공할 수 있다.

In addition, the present invention provides a sheet which can effectively suppress a blocking phenomenon during a wafer processing process or the like.

2. 본 발명은 고분자 복합폐기물의 열분해 과정 중 생성되는 기체를 액체로 응축시키는 응축기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기체상태의 분해증기가 냉각수에 의해 응축액이 되어 저장탱크로 포집되는 구성과 함께 특히, 고분자 복합폐기물의 분해증기가 응축되는 과정에서 냉각수의 이동통로인 냉각튜브의 외피에 부착된 비산 또는 타르 입자들을 제거하는 고압분사장치를 구성하여 더욱 효과적인 응축공정이 이루어지도록 한 고분자 복합폐기물의 열분해 과정 중 생성되는 기체를 응축하기 위한 응축기에 관한 것이다.

Specifically, while the decomposition vapor generated from the polymer complex waste is condensed, a high pressure injector removes arsenic acid or tar particles attached to the outer cover of the cooling tube which serves as a passage for the coolant, thereby more effectively performing a condensing process.